檢索結果：共11筆資料 檢索策略： "氧化鋅".ckeyword (精準) and cdept.raw="機械工程系"
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本研究係利用射頻磁控濺鍍，沉積氧化鋅鋁(ZnO:Al/AlZnO，AZO)透明導電膜於玻璃基板，探討不同ZnO緩衝層鍍膜參數(如射頻功率、濺鍍壓力、氧化鋅緩衝層膜厚、退火溫度)對AZO薄膜的結構、表…
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採用鋁、氮共掺雜的氧化鋅已被證實為製備p型氧化鋅中一種有效的方法使用。本實驗使用溶膠-凝膠法於藍寶石（0 0 0 1）基板上製備不同濃度鋁掺雜氧化鋅薄膜，並且於氨氣氣氛下退火以獲得鋁掺雜之含氮氧化鋅…
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焦電薄膜感測器是以溫度變化產生焦電訊號。本文分別使用三種射頻源功率90W、120W及150W進行單階段濺鍍氧化鋅焦電薄膜，及此三種射頻源功率構成六種組合以雙階段的濺鍍技術沈積氧化鋅焦電薄膜。氧化鋅焦…
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中文摘要 當薄膜沈積於基材上會受到製程參數與晶格常數的不同造成殘留應力的發生，而殘留應力將會影響薄膜之晶格結構與表面粗糙度，且隨著元件之使用環境、溫度、濕度等條件的變化，進而使得薄膜產生與基材剝離的…
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隨著科技的發展，大眾對於電子產品的需求越來越多樣化，其中具備可撓特性之電子產品是近年來的發展趨勢，為了使傳統的電子元件擁有可撓的功能，大多利用可撓性基板取代傳統硬基板，而因為白雲母(Muscovit…
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在本研究中，我們以火花電漿燒結(Spark Plasma Sintering)製備添加不同粒徑大小的ZnO (2.4 μm and 160 nm) 和添加不同重量百分比(1 wt% and 5 wt…
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本研究在玻璃基板上進行表面改質，用以增強光學與光催化性能，特別針對紫外光 之吸收率改善。在玻璃基板的表面改質過程中，依序研究濺鍍之鋁與鋅金屬，以確認不 同製程對於薄膜之影響。利用射頻濺鍍機在透光玻璃…
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本實驗使用溶膠-凝膠法於藍寶石（0001）基板上製備不同濃度鈉掺雜氧化鋅薄膜，並且於空氣及氬-氫混和氣氛下退火以獲得鈉掺雜之氧化鋅薄膜。所有的樣品皆利用X-ray繞射光譜、掃描式電子顯微鏡、原子力顯…
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本研究在玻璃基板上建立半透明微奈米陣列結構，改善玻璃的光學特性，並於奈米結構上方濺鍍金屬鋅，再經過氧化處理成為氧化鋅薄膜，探討光波經過光學薄膜層所產生吸收或穿透的光學改變量。製程主要是利用磁控射頻濺…
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焦電薄膜感測器乃利用焦電效應，將溫度變化轉為焦電訊號。焦電感測器之焦電響應為感測器優劣之重要指標，其中影響焦電響應主要因素為焦電薄膜品質，而薄膜品質與薄膜之表面形貌、晶格結構及殘留應力等息息相關。本…